熒光式光纖溫度傳感器具有極長的壽命和穩定可靠的工作特性，非常適合于大規模工業化批量生產，從而迅速實現工業領域的廣泛應用。熒光光纖溫度傳感器是由多模光纖和在其頂部安裝的熒光物體(膜)組成。熒光物質在受到一定波長(受激譜)的光激勵后，受激輻射出熒光能量。激勵撤消后，熒光余暉的持續性取決于熒光物質特性、環境溫度等因素。這種受激發熒光通常是按指數方式衰減的，稱衰減的時間常數為熒光壽命或熒光余暉時間。在不同的環境溫度下，熒光余暉衰減也不同。因此通過測量熒光余暉壽命的長短，就可以得知當時的環境溫度。在強電磁場下，用常規溫度傳感器(如熱電偶、熱電阻等)測量時，金屬材料制作的測量探頭及導線在高頻電磁場下產生感應電流，由于集膚效應和渦流效應，使其自身溫度升高，對溫度測量造成嚴重干擾，使溫度示值產生很大誤差或者無法進行穩定的溫度測量。熒光光纖溫度傳感技術目前已經成熟，已經實現大規模工業化生產及應用，成本快速下降，其在強電磁場環境測量領域優勢明顯。

光刻機作為集成電路制造過程中的核心設備,其發展狀況一定程度上決定集成電路的發展程度,研發出更高光刻分辨率、更高產率、更精密套刻精度的光刻機一直是世界各國微電子裝備行業不斷追求的目標。光刻機性能的不斷提高,是由軟件、控制、曝光、工件臺、微環境等十多個分系統的共同發展所決定的,其中對光刻機內部和投影物鏡溫度的控制就是其中一項非常重要的需求指標,精密溫度控制裝置就是用來控制光刻機這項重要指標的設備。而光刻機工作環境下，溫度穩定是保證整機系統精度的關鍵條件，而高精度的溫度測量是控制溫度穩定的前提，與穩定性有直接的關系。